Ακριβότητα | Υψηλή |
---|---|
Εφαρμογή | Κατασκευή ημιαγωγών |
Επίπεδο αυτοματοποίησης | Πλήρως αυτοματοποιημένος |
Δυναμικότητα | Υψηλή |
Δύναμη σύσφιξης | Υψηλή |
Μέγεθος πλάκας | 600 X 600 χιλ. |
---|---|
Δύναμη σύσφιξης | 1000 KN |
Μέγιστο ύψος φορμών | 400 χιλ. |
Σύστημα ψύξης | Νερό |
Σχήμα | SM-1000 |